ALD・CVD用プリカーサー

高度な分子設計・合成技術・品質管理体制を基盤に、原子層レベルでの膜厚制御を可能にし、優れた膜質・均一性・ステップカバレッジを実現します。高純度・低金属汚染・安定供給性を兼ね備え、先端半導体のゲート絶縁膜、バリア膜、配線形成など幅広い用途に対応します

ドーパント

半導体デバイスの電気特性を制御するための高純度ドーパント材料です。高い純度と精密な濃度制御を実現し、均一なドーピングを可能にします。

フォトレジスト・多層材

リソグラフィー工程は、半導体デバイスの微細化と性能を決める中核技術です。JSRはこの領域において、各波長に対応するフォトレジストから有機系、無機系の多層材料などを幅広く取り揃えています。総合的なポートフォリオとデバイスの高性能化と高信頼性を同時に支える材料設計を実現していくことで、最先端ノードから成熟世代まで、顧客のプロセス革新を継続的に支援しています。

• EUV製品カタログ（PDF：1.1 MB）
• ArF製品カタログ（PDF：575.4 KB）

フォトレジスト・多層材

リソグラフィー工程は、半導体デバイスの微細化と性能を決める中核技術です。JSRはこの領域において、各波長に対応するフォトレジストから有機系、無機系の多層材料などを幅広く取り揃えています。総合的なポートフォリオとデバイスの高性能化と高信頼性を同時に支える材料設計を実現していくことで、最先端ノードから成熟世代まで、顧客のプロセス革新を継続的に支援しています。

• KrF製品カタログ（PDF：680.9 KB）
• i線製品カタログ（PDF：610.1 KB）
• 多層材製品カタログ（PDF：549.0 KB）

CMP材料（スラリー・洗浄剤）

高性能LSI製造に必要なCMPスラリー・洗浄剤です。高い平坦化性能と選択性を持ち、デバイス微細化に対応した欠陥低減と高い再現性を実現します

• CMPスラリー（PDF：11.2 MB）
• CMP洗浄剤（PDF：11.1 MB）

洗浄剤

エッチング後、SAM処理前後の基板表面に残留する微粒子や金属イオン、反応副生成物を効率的に除去する機能性洗浄剤です。

• Wet SAM剤（PDF：13.1 MB）

めっき用厚膜フォトレジスト

解像性、各種めっき液耐性、真空プロセスへの耐性に優れており、フリップチップのバンプ形成、マイクロバンプ形成、種々の回路基板の配線形成に用いることができます。1回のスピンコートで、ネガ型レジストは100μm膜厚が得られます。

• 製品カタログ（PDF：883.8 KB）

感光性絶縁材料

WL-CSP(ウエハーレベルチップサイズパッケージ)、SiP（システムインパッケージ）の再配線層や、オーバーコートの感光性絶縁膜材料、また半導体デバイスの有機パッシベーション材料として適しています。近年社会課題となっているPFASを含まない製品も準備しております。また、Fan-Out Packageのような樹脂とメタル配線が複合化したパッケージに向けた再配線層の感光性絶縁膜として、プロセスコストが低く、環境負荷が小さいアルカリ現像液を使用できる低温硬化ポリイミドを開発しております。

• 製品カタログ（PDF：1.8 MB）

配向膜

液晶分子の一軸配向性と傾斜角を制御し、高解像度・高コントラスト表示を実現する材料で、VA,PSA,UV2A,TN, IPS,FFS,O-IPSなど各種LCDに適用されます。

絶縁膜

TFT基板上に形成される高透過率・高絶縁性の膜で、コンタクトホールのパターニングに対応し、画素領域の拡大や低消費電力化に貢献します。

保護膜

CF基板側に塗布され、表面の平坦化や外部汚染の防止、高耐熱・高密着性でLCDの長期信頼性と高画質を支える役割を持ちます。

低温硬化絶縁膜

OLEDパネルの保護層として機能し、低温硬化性によりデバイスへの熱ダメージを抑えつつ高い信頼性と柔軟性を実現します。曲面・フォルダブル・ロール可能な次世代モバイルOLEDにも対応可能です。

有機中間絶縁膜

高解像度・高信頼性・低誘電率を実現し、IT機器やモバイルOLEDの積層設計に最適です。折り曲げや低温プロセスにも対応し、次世代端末の多様な構造に貢献します。

光取出し材料

光取り出し効率を高める材料で、高屈折率設計やレンズ形状制御が可能です。AR/VRや車載用途にも展開さ れ、パネルの高輝度化・省エネ化に寄与します。

薄膜封止材料

低誘電率・PFASフリー設計を特徴とします。高いバリア性と柔軟性で、OLEDパネルの長寿命化・省エネ化・折り曲げ対応を実現します。量産性にも優れています。

バンク・平坦化材料

画素同士の区切りや積層構造の平坦化を担う材料です。高い遮光性や表面平滑性、低誘電率を実現し、混色防止や表示品質向上に貢献します。TV・スマホ・IT機器・車載・AR/VRなど各種OLEDパネル用途に展開しています。

マイクロLED向け厚膜材料

高精度な膜厚制御が可能で、低残留応力・高密着性・高透明性を兼ね備えています。マイクロLEDディスプレイの高輝度化・高信頼性・量産性向上に貢献する次世代材料です。

耐熱透明樹脂ARTON®

優れた光学特性・耐熱性・寸法安定性などを有するオリジナル透明樹脂（環状オレフィン樹脂）です。ARTON®は、主にLCDやOLEDなどのディスプレイにおける高画質化のための位相差フィルム向けに適用されており、各種光学用途に好適な耐熱透明樹脂です。

カメラ用ARTON®光学フィルター

オリジナル透明樹脂ARTON®、独自開発色素、及び優れたフィルム加工技術による、他に類を見ない樹脂製近赤外線（NIR）カットフィルターです。薄さ・軽さ・割れにくさと優れた光学特性を有し、スマートフォンを中心としたカメラの高画質化や薄型化に貢献しています。

センシング用光学フィルター

低分子設計・調合技術をベースとした独自開発色素、及び優れた製膜・塗工技術により、各種光センシングデバイスの高感度化ニーズに適した光学フィルターです。モバイル機器・モビリティー・産業分野など、センシング技術・用途の進展に貢献します。