JSR株式会社 (代表取締役CEO：エリック　ジョンソン、以下「JSR」）は、Inpria Corporation (以下「Inpria社」) へ追加出資を行いましたので、お知らせいたします。今回の出資は、Inpria社が同社EUVレジストの商業化への取り組みを目的に新たに募集をかけたSeries C Fundingへの参加となります。

Inpria社は、設立以来、非化学増幅型金属含有EUVレジストの開発に取り組んでおり、現在、Sn (スズ) 酸化物を主成分とするレジストは、学会等においてEUV露光系で世界最高性能の限界解像度を達成しています。

本出資を通じてJSRとInpria社は、多様な面で協力し、EUVレジストの実用化に向けた取り組みを加速してまいります。

Inpria社の発表内容 (2020年2月20日発表)

「EUV Photoresist Pioneer Inpria Raises $31 Million in Series C Funding Led by JSR Corporation - Expanded Investor Group Reflects Growing Industry Support-」

「Inpria社の概要」

会社名：Inpria Corporation

所在地：米国オレゴン州コーバリス

代表者：Andrew Grenville

事業内容：金属含有EUVレジストの開発

設立：2007年