JSR株式会社 (本社：東京都港区、代表取締役社長：小柴満信、以下「JSR」) は、Inpria Corporation (以下「Inpria社」) へ出資を行いましたので、お知らせいたします。今回の出資は、Inpria社が同社EUVレジストの商業化への取り組みを目途に募集をかけたSeries B Fundingに参加する形になります。Inpria社は、設立以来、非化学増幅型金属含有EUVレジストの開発に取り組んでいます。現在、主に取り組んでいるSn (スズ) 酸化物を主成分とするレジストは、学会等においてEUV露光系で世界最高性能の限界解像度を達成し、有機レジストに比べドライエッチング耐性が高いなど多数の優れた性能を有すると発表されています。

本出資を通じてJSRとInpria社は、多様な面で協力し、EUVレジストの実用化に向けた取り組みを加速してまいります。

Inpria社の発表内容 (2017年7月10日発表)
「EUV Photoresist Pioneer Inpria raises $23.5 Million in Series B Funding
Led by Samsung Ventures －Inpria Brings Together Industry Leaders to Scale Enabling Materials for EUV Lithography」


「Inpria社の概要」
会社名：Inpria Corporation
所在地：米国オレゴン州コーバリス
代表者：Andrew Grenville
事業内容：金属含有EUVレジストの開発
設立：2007年