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ArF
ArF
Argon Fluorideの略語。露光用光源であるフッ化アルゴンのエキシマレーザー。光源の波長は193nm。EUV<ArF<Krf<g/i線 の順で光源の波長が短くなり(EUVが最小)、より微細な回路を描くことができる。
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