JSR株式会社（以下、JSR）及び子会社のInpria Corporation（以下、Inpria）はLam Research Corporation（以下、Lam）と、次世代半導体製造に向けた非独占的なクロスライセンス契約および協業に合意しました。本提携により、EUV（極紫外線）リソグラフィー向けフォトレジスト、MOR（Metal Oxide Resist）、ALE（Atomic Layer Etching）やALD（Atomic Layer Deposition）に対応する次世代材料の探求を進めます。

両社は、JSR/InpriaのMORを含む最先端リソグラフィー材料と、Lamのエッチング・ドライレジスト成膜技術で協業し、先端EUV材料や次世代パターニング材料を共同開発します。あわせて、CVD（Chemical Vapor Deposition）／ALD向け高純度プリカーサーについて、JSR子会社のヤマナカヒューテックとのシナジーを活かした探索・プロセス開発を推進します。これにより、人工知能や高性能コンピューティングに求められる複雑パターンのコスト・プロセス複雑性低減と、先端ノードでの歩留まり・スループット向上を目指します。半導体製造装置のリーディングカンパニーと半導体材料のリーディングカンパニーの能力・知見・リソースを結集することで、顧客にとって重要な領域でイノベーションを加速することを目指します。

さらに、 InpriaとLamは、米国デラウェア州地方裁判所における係争（Inpria v. Lam Research, Case 1:22-cv-01359）および関連する特許異議申立手続（Inter Partes Review：IPR）を取り下げることで合意しています。

ラムリサーチについて

ラムリサーチは、革新的なウェハ製造装置とサービスを半導体産業に提供するグローバル・サプライヤーです。ラムリサーチの装置とサービスにより、お客様は、より小型で高性能なデバイスを製造することが可能になります。現在、ほとんどの先端半導体は、ラムリサーチの技術を用いて製造されています。
ラムリサーチは、優れたシステムエンジニアリング、技術的リーダーシップ、コアバリューに基づく強固な企業文化、そしてお客様への揺るぎないコミットメントを兼ね備えています。Lam Research（Nasdaq: LRCX）は米国カリフォルニア州フリーモントに本社を置き、世界各地で事業を展開するFORTUNE 500®企業です。

詳細は http://www.lamresearch.com/をご覧ください。